德国海德汉heidenhain高精度直线光栅尺工作原理

德国海德汉heidenhain高精度直线光栅尺基础信息：

直线光栅尺测量直线轴位置无需任何中间机械连接件。因此，可避免许多潜在误差源，例如反向间隙、螺距误差或循环滚珠丝杠发热。只要位置精度严格和加工速度高，那么直线光栅尺。

LIC 4100系列

绝对式直线光栅尺

高精度和大测量长度

支持不同的安装方式

钢尺带、玻璃陶瓷或玻璃基体的光栅

可带功能安全特性

高速运动的直线轴

测量长度达28 m

超小测量步距版（<1 nm）

可提供高真空版

可提供功能安全特性

支持不同的安装方式

接口：EnDat、发那科、三菱、松下和安川

德国海德汉heidenhain高精度直线光栅尺功能安全特性

该系列的部分编码器可提供功能安全特性和机械连接防松保护功能。集成到系统中后，该解决方案可提供SIL 2级的安全性，最大限度减少故障和支持机床的安全工作。

应用的多样性

该系列产品应用广泛。LIC系列直线光栅尺亮点多，设计坚固，精度高，支持高速度和大测量长度。部分版本的光栅尺可在高安全性环境或高真空度应用中使用。

高运动速度

LIC系列直线光栅尺不仅精度高，而且支持高速运动。测量步距仅1 nm和运动速度可高达600 m/min。绝对式位置测量，并且抗污性能优异，可靠性高。

大测量长度

可选该系列直线光栅尺的不同版本，测量长度可达28米。这些光栅尺拥有高动态性能、高可靠性并在测量长度的全长上保持一致的高精度。

对污染不敏感

这系列光栅尺采用大扫描区设计，拥有优异的抗污性能。测量基准上的局部异物几乎不影响信号质量和测量可靠性。

海德汉heidenhain高精度直线光栅尺原理

光电式原理：通过光源发出光线，经过聚光镜后照射到标尺光栅和指示光栅上。当标尺光栅与指示光栅相对移动时，会产生莫尔条纹，光敏元件将莫尔条纹的光强变化转换为电信号，通过对电信号的处理和计数，就能精确测量出直线位移量。

电磁感应式原理：利用电磁感应现象，当标尺光栅与感应头相对移动时，在感应头的线圈中产生感应电动势，其大小和相位与位移量相关，经过信号处理电路解算出位移信息。

电容式原理：由固定电极和可动电极组成，可动电极随被测物体移动，固定电极和可动电极之间的电容值会随着相对位移的变化而变化，通过测量电容值的变化来计算出直线位移。

海德汉heidenhain高精度直线光栅尺特点

高精度：能够实现微米级甚至纳米级的测量精度，满足各种高精度加工和测量需求。

高分辨率：可以精确地分辨出极小的位移变化，提供丰富的测量细节。

响应速度快：能够快速地跟踪被测物体的移动，实时输出测量数据，适用于高速运动的测量场合。

可靠性高：采用了先进的制造工艺和优质的材料，具有良好的稳定性和抗干扰能力，能够在恶劣的工作环境下长期稳定工作。

非接触式测量：标尺光栅和指示光栅之间没有直接接触，减少了磨损和摩擦，提高了使用寿命，同时也避免了因接触而产生的测量误差。

海德汉heidenhain高精度直线光栅尺应用领域

机床加工领域：用于数控机床的位置反馈，精确控制工作台、刀具等的移动位置，提高加工精度，保证零件的加工质量。在磨床、铣床、车床等各类机床上都有广泛应用。

半导体制造领域：在光刻机、刻蚀机等半导体制造设备中，用于精确控制晶圆的定位和移动，确保芯片制造的高精度和一致性。

测量仪器领域：如三坐标测量仪、工具显微镜等，用于精确测量物体的尺寸、形状和位置，为质量检测和控制提供准确的数据支持。

自动化生产线领域：用于自动化生产线中工件的定位和检测，实现自动化生产过程的精确控制和质量监控，提高生产效率和产品质量。